Fraunhofer 3D IntegrationFünf Fraunhofer-Institute bündeln ihre Kompetenzen und decken das gesamte Themenspektrum der 3D-Integration ab. Die Institute sind flexibel vernetzt und werden auch sehr umfassenden Projektanforderungen gerecht.
Mitglieder und Partner des Clusters 3D-Integration
- Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM (izm.fraunhofer.de)
- Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS (enas.fraunhofer.de)
- Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (eas.iis.fraunhofer.de)
- Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS (ikts.fraunhofer.de)
- Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS (ipms.fraunhofer.de)